一、测试依据

1） 《电子工业防微振工程技术规范》GB510762015

2） 《建筑工程容许振动标准》GB50868-2013

3） 《机械振动与冲击.装有敏感设备建筑物内的振动与冲击.第1部分: 测量与评价》GB/T 23717.1-2009/ISO/TS 10811-1:2000

4） 《机械振动与冲击.装有敏感设备建筑物内的振动与冲击.第2部分: 分级》GB/T 23717.2-2009/ISO/TS 10811-2:2000

5） 设备产生厂商在设备安装条件中的相关要求

6） 委托方提供的图纸及测试要求。

二、测试仪器设备

以下仪器均经过国家法定的计量部门检定，并在有效使用期限内。

1） 振动传感器采用中国地震局工程力学生产的941型低频拾振器，其主要技术参数如下：

轴向灵敏度：0.3v·s2/m 测量范围：0～20m/s2

频率响应：0.25～100Hz

2） 动态数据采集设备，采用北京东方振动与噪声研究所生产的INV3020高性能数据采集仪，其主要技术参数如下：

AD精度：24bit

采样频率：每通道102.4kHz

并行通道一致性：幅值0.05dB,相位0.1度

24位通道动态范围：120dB(典型值)，110dB(保证值) 输入噪声：0.03mVrms@±10V量程

3） 测试系统组成如图3.1所示。

 

图 3.1 环境振动测试系统组成

三、测试内容及测点布置

根据高精度扫描测量设备厂家对设备安装场地振动速度应满足VC振动

准则中VC-B(25μm/s)的要求，现场测量时测量设备安置基础顶面的振动速度。

现场振动测量的测点布置设备基础顶面和基础附近的地面上，设备基础顶面对称布置5个测点，设备基础附近地面布置1个测点。其中测点1#～ 5#布置在设备基础上，测点6#布置在基础附近的地面上，如图4.1所示。每个测点测量X、Y、Z三个正交方向上的振动速度，X方向测量南北方向的水平振动，Y方向测量东西方向的水平振动，Z方向测量垂直方向的振动， 现场各测点振动数据采集时间为3600s。

图 4.1 设备安置场地及基础振动测点布置图

四、振动测试数据分析

1、测点1#～6#振动速度时域及频域图谱

2、测点1#～6#VC曲线

 

图 5.1 测点 1#各方向 VC 曲线（诺模图）

图5.2 测点2#各方向VC曲线（诺模图）

图5.3测点3#各方向VC曲线（诺模图）

 

图5.4 测点4#各方向VC曲线（诺模图）

图5.5测点5#各方向VC曲线（诺模图）

 

图5.6 测点6#各方向VC曲线（诺模图）

3、测点1#～6#振动分析数据

通过对测试时间段内数据进行时域统计分析得到各测点各测量方向振动速度的均方根值（RSM）,同时对各测点各测量方向的振动速度数据进行频域分析得到各测点的振动主频，计算分析数据见表5.1、表5.2：

表5.1 1#～3#各测量方向振动速度有效值及振动主频

 

测点编号 测量参数	1#			2#			3#
	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
振动速度 有效值（RSM） μm/s	0.22	0.19	0.16	0.32	0.18	0.18	0.21	0.18	0.16
振动主频 Hz	2.5	1.5	1.5	2.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5

注：X 方向为南北方向，Y 方向为东西方向，Z 方向为垂直方向。

表5.1 1#～3#各测量方向振动速度有效值及振动主频

 

测点编号 测量参数	4#			5#			6#
	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
振动速度 有效值（RSM） mm/s	0.25	0.17	0.40	0.18	0.17	0.18	0.99	0.94	3.91
振动主频 Hz	1.5	1.5	1.5	2.5	1.5	1.5	0.5	0.5	0.5

注：X 方向为南北方向，Y 方向为东西方向，Z 方向为垂直方向。

五、结论

从高精度扫描测量设备基础顶部1#～5#测点及基础附近地面6#测点各方向振动速度测量分析结果（见表5.1、表5.2）来看，测量时段内各测点各测量方向振动速度有效值（RSM）均未超过VC振动准则中VC-B(25μm/s) 的要求，满足高精度扫描测量设备安装场地要求。